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超聲振動磨削原理、優(yōu)勢、分類和發(fā)展趨勢
超聲振動磨削的材料去除機(jī)制和表面形成機(jī)制
典型航空工業(yè)難加工材料超聲振動輔助加工現(xiàn)狀
超聲加工降低切削力、改善粗糙度、降低刀具磨損
碳化硅晶圓功率密度高、耐壓高、導(dǎo)熱系數(shù)高，是功率半導(dǎo)體首選材料，在新能源領(lǐng)域應(yīng)用越來越廣泛。碳化硅硬度高，采用常規(guī)的晶圓劃片方案，切割速度慢，刀片消耗大。超聲振動輔助劃片，極大地提高了生產(chǎn)效率。
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